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 基于離子束濺射大口徑光學元件平坦化層均勻性研究

馮時 付秀華 王大森 李曉靜 聶鳳明 張旭

[摘要]針對大口徑光學元件濺射沉積膜厚不均勻的問題, 采用離子束濺射平坦化層來改善光學元件表面粗糙度.利用膜厚檢測儀測出光學元件沉積面上的中心區域以及各邊緣區域的膜厚值, 計算離子束在光學元件中心與邊緣駐留時間比,...

 PDF全文光子學報 | 2019, 48(01):0131002

 基于稀疏矩陣的光學元件表面疵病檢測

陳晨 王紅軍 王大森 田愛玲 劉丙才 朱學亮 劉衛國

[摘要]提出了一種基于稀疏矩陣的表面疵病快速拼接方法。該方法采用環形白光光源均勻地照射到被測元件表面, 光經顯微散射暗場成像系統后形成暗背景下的亮疵病圖像。通過對光學元件的x, y方向進行掃描, 得到子孔徑拼接圖像。...

 PDF全文中國激光 | 2019, 46(04):0404007

 裝夾自重變形對大口徑絕對面形檢測的影響

趙思偉 田愛玲 王大森 劉丙才 朱學亮 劉衛國

[摘要]針對立式大口徑平面干涉儀, 采用結合Zernike多項式的三平面互檢面形檢測方法, 研究參考平面在裝夾情況下的自重變形對絕對面形檢測結果的影響.運用ANSYS有限元分析方法研究了不同參數下的裝夾和自重變形情況, 得到了最...

 PDF全文光子學報 | 2018, 47(02):0212004

 波長調諧干涉測量的相移標定方法

田愛玲 馬迪 王大森 劉劍 劉丙才 朱學亮

[摘要]基于菲索干涉的變頻相移技術, 提出一種分步相移標定方法.生成n組t步相移干涉圖,每步相移為π/2;將每步的n組干涉圖分別與初始干涉圖做相乘和傅里葉變換運算, 在此基礎上構建每步相移的誤差函數;通過求取誤差函數極值點...

 PDF全文光子學報 | 2016, 45(07):070712001

 影響方形非球面光學元件加工精度的工藝研究

吳慶堂 聶鳳明 王大森 史國權 吳煥 李珊 郭波

[摘要]分析了方形非球面光學元件磨削加工中產生四角塌邊誤差的原因,計算了方形非球面光學元件磨削加工時砂輪軸系兩種安裝方式的磨削系統剛度,討論了砂輪軸系安裝的位置對加工精度的影響,進行了砂輪軸系兩種安裝方式的方...

 PDF全文中國激光 | 2012, 39(03):0316001

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